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DNS 80B

機台設備: DNS-80BW-A
出廠年份: JUN/2011
出廠序號: 170800069A
設備概況: 現貨二手良品機台
服務項目: 設備買賣、設備翻修、機台改造、裝機、移機、零件買賣、零件保養及維修。
機台配置: 6"/8" Open Cassette Station
              Spin Unit: SSV Spin Unit*4/ SSM Spin Unit*4, Reverse unit
              Dispense Nozzle: Jet arm/ D-SONIC arm/ Nanospray arm/ Brush arm

DNS 80B 為晨楊科技主力維修與銷售之設備,提供設備買賣、設備改裝、移機、零件維修、零件與耗材買賣等服務。
晨楊科技設有改裝噴頭手臂與編輯洗淨程式之服務;零件維修服務包括主控置機、驅動器、馬達、直流電供電系統、交流電供電系統及純水抗靜電處理系統等;晨楊科技提供四種自動化機械手臂,滿足客製化需求:Jet arm、D-SONIC arm、Nanospray arm 以及 Brush arm。 此外,機台內零件均有額外提供販售及專人維修服務。

機台外觀 - 


晶圓自旋洗滌 (Spin Scrubber) 機台;機台中設有自旋系統 (Spin Unit) 及噴頭手臂 (Nozzle Arm) 協助晶圓洗淨製程,有效去除附著於晶圓表面的粒子。

機台內部零件 -