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Entegris / Intelligen Mini Overhaul

零件: Intelligen Mini, Mini Pump/ Entegris
服務項目: 二手良品、Overhaul

晨楊科技是業界少數有提供Intelligen Mini Overhaul 服務的公司,Intelligen Mini 是晨楊的主力商品,致力於提供專業的Overhaul服務和 Intelligen Mini 的二手良品販售。晨楊科技提供一站式的 Overhaul 服務,OH服務從檢修、維修、保養、拆組裝及測試,皆由我們專業的工程團隊進行處理。

Intelligen Mini 光阻馬達,亦稱 Mini Pump;此馬達可提高光阻使用效率,減少光阻消耗,降低成本。晨楊的維修手法及檢驗規格皆參照原廠標準,避免因手法和檢驗標準之差異,造成馬達損傷與品質不一的問題。

Intelligen Mini 
外觀 - 
                   
                                    



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Pump 拆卸
Pump 組裝與拆卸的環境均在 CLASS 1000 標準之無塵室進行。




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零件清洗 
零件拆卸後,部分零件採RCE洗淨; 零件組裝前,均經異丙醇擦拭。




◆ 維修完畢
維修完畢後,以真空袋包裝。



零件保養天數:約30天
零件保養完成,均接受壓力測試及噴灑測試,測試標準參照原廠設定,並提供一年的保固服務。