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    TEL MARK 8

    機台設備: TEL CLEAN TRACK MARK 8
    服務項目: 設備買賣、設備翻修、機台改造、裝機、移機、零件買賣、零件保養及維修。
    機台配置: 6"/ 8" Open Cassette Station
                  6"/ 8" SMIF Cassette Station
                  Panel: Plasma Display/ LCD Display
                  Main Controller: FC-9801F/ FC-9821B
                  Plate: CPL/ HP/ DHP/ ADH


    晨楊科技擁有半導體業界經驗豐富之一流工程團隊,致力於 MARK 8 設備翻修服務擁有逾十年的經驗,並於設備翻修與零件維修均有豐碩的成果及聲譽;晨楊科技提供設備買賣、設備改裝、移機、零件維修、零件與耗材買賣之服務項目。

    TEL Clean Track MarK 8 自動化光阻塗佈及顯影系統,主要功能為光阻塗佈的處理與圖形顯像的製程。我們依客戶需求改裝機台配置,安裝設定冷熱板及ADH,進行塗佈顯影設備之噴頭客製化改裝與程式編寫;提供Main Arm、LHP 及 DHP Overhaul 服務;此外,機台內零件均有額外提供販售及專人維修服務。

    機台內部零件 - 
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    Entegris / Intelligen Mini Overhaul

    零件: Intelligen Mini, Mini Pump/ Entegris
    服務項目: 二手良品、Overhaul

    晨楊科技是業界少數有提供Intelligen Mini Overhaul 服務的公司,Intelligen Mini 是晨楊的主力商品,致力於提供專業的Overhaul服務和 Intelligen Mini 的二手良品販售。晨楊科技提供一站式的 Overhaul 服務,OH服務從檢修、維修、保養、拆組裝及測試,皆由我們專業的工程團隊進行處理。

    Intelligen Mini 外觀 - 
                       
                                        


    ◆ Pump 拆卸
    Pump 組裝與拆卸的環境均在 CLASS 1000 標準之無塵室進行。



    ◆ 零件清洗 
    零件拆卸後,部分零件採RCE洗淨; 零件組裝前,均經異丙醇擦拭。



    ◆ 維修完畢
    維修完畢後,以真空袋包裝。



    零件保養天數:約30天
    零件保養完成,均接受壓力測試及噴灑測試,測試標準參照原廠設定,並提供一年的保固服務。
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