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    DNS 80B

    機台設備: DNS-80BW-A
    出廠年份: JUN/2011
    出廠序號: 170800069A
    設備概況: 現貨二手良品機台
    服務項目: 設備買賣、設備翻修、機台改造、裝機、移機、零件買賣、零件保養及維修。
    機台配置: 6"/8" Open Cassette Station
                  Spin Unit: SSV Spin Unit*4/ SSM Spin Unit*4, Reverse unit
                  Dispense Nozzle: Jet arm/ D-SONIC arm/ Nanospray arm/ Brush arm

    DNS 80B 為晨楊科技主力維修與銷售之設備,提供設備買賣、設備改裝、移機、零件維修、零件與耗材買賣等服務。
    晨楊科技設有改裝噴頭手臂與編輯洗淨程式之服務;零件維修服務包括主控置機、驅動器、馬達、直流電供電系統、交流電供電系統及純水抗靜電處理系統等;晨楊科技提供四種自動化機械手臂,滿足客製化需求:Jet arm、D-SONIC arm、Nanospray arm 以及 Brush arm。 此外,機台內零件均有額外提供販售及專人維修服務。

    機台外觀 - 


    晶圓自旋洗滌 (Spin Scrubber) 機台;機台中設有自旋系統 (Spin Unit) 及噴頭手臂 (Nozzle Arm) 協助晶圓洗淨製程,有效去除附著於晶圓表面的粒子。

    機台內部零件 - 




     
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    TEL MARK 8

    機台設備: TEL CLEAN TRACK MARK 8
    服務項目: 設備買賣、設備翻修、機台改造、裝機、移機、零件買賣、零件保養及維修。
    機台配置: 6"/ 8" Open Cassette Station
                  6"/ 8" SMIF Cassette Station
                  Panel: Plasma Display/ LCD Display
                  Main Controller: FC-9801F/ FC-9821B
                  Plate: CPL/ HP/ DHP/ ADH


    晨楊科技擁有半導體業界經驗豐富之一流工程團隊,致力於 MARK 8 設備翻修服務擁有逾十年的經驗,並於設備翻修與零件維修均有豐碩的成果及聲譽;晨楊科技提供設備買賣、設備改裝、移機、零件維修、零件與耗材買賣之服務項目。

    TEL Clean Track MarK 8 自動化光阻塗佈及顯影系統,主要功能為光阻塗佈的處理與圖形顯像的製程。我們依客戶需求改裝機台配置,安裝設定冷熱板及ADH,進行塗佈顯影設備之噴頭客製化改裝與程式編寫;提供Main Arm、LHP 及 DHP Overhaul 服務;此外,機台內零件均有額外提供販售及專人維修服務。

    機台內部零件 - 
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    Entegris / Intelligen Mini Overhaul

    零件: Intelligen Mini, Mini Pump/ Entegris
    服務項目: 二手良品、Overhaul

    晨楊科技是業界少數有提供Intelligen Mini Overhaul 服務的公司,Intelligen Mini 是晨楊的主力商品,致力於提供專業的Overhaul服務和 Intelligen Mini 的二手良品販售。晨楊科技提供一站式的 Overhaul 服務,OH服務從檢修、維修、保養、拆組裝及測試,皆由我們專業的工程團隊進行處理。

    Intelligen Mini 光阻馬達,亦稱 Mini Pump;此馬達可提高光阻使用效率,減少光阻消耗,降低成本。晨楊的維修手法及檢驗規格皆參照原廠標準,避免因手法和檢驗標準之差異,造成馬達損傷與品質不一的問題。

    Intelligen Mini 外觀 - 
                       
                                        


    ◆ Pump 拆卸
    Pump 組裝與拆卸的環境均在 CLASS 1000 標準之無塵室進行。



    ◆ 零件清洗 
    零件拆卸後,部分零件採RCE洗淨; 零件組裝前,均經異丙醇擦拭。



    ◆ 維修完畢
    維修完畢後,以真空袋包裝。



    零件保養天數:約30天
    零件保養完成,均接受壓力測試及噴灑測試,測試標準參照原廠設定,並提供一年的保固服務。
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