服務項目: 設備買賣、設備翻修、機台改造、裝機、移機、零件買賣、零件保養及維修。
機台配置: 6"/ 8" Open Cassette Station
6"/ 8" SMIF Cassette Station
Panel: Plasma Display/ LCD Display
Main Controller: FC-9801F/ FC-9821B
Plate: CPL/ HP/ DHP/ ADH
晨楊科技擁有半導體業界經驗豐富之一流工程團隊，致力於 MARK 8 設備翻修服務擁有逾十年的經驗，並於設備翻修與零件維修均有豐碩的成果及聲譽；晨楊科技提供設備買賣、設備改裝、移機、零件維修、零件與耗材買賣之服務項目。
TEL Clean Track MarK 8 自動化光阻塗佈及顯影系統，主要功能為光阻塗佈的處理與圖形顯像的製程。我們依客戶需求改裝機台配置，安裝設定冷熱板及ADH，進行塗佈顯影設備之噴頭客製化改裝與程式編寫；提供Main Arm、LHP 及 DHP Overhaul 服務；此外，機台內零件均有額外提供販售及專人維修服務。
機台內部零件 -
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